
北京京仪自动化装备技术有限公司-公司简介
北京京仪自动化装备技术有限公司是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业,注册资本7000万元人民币。主要产品包括半导体温控装置系列(Chiller)、机器人系列(Wafer Sorter/AMR)、废气处理装置系列(Local Scrubber)等专用设备,现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。
公司一直秉承“为员工提供机会,为客户带来利益,为股东创造价值,为社会承担责任”的企业价值观,以振兴民族产业为己任,聚焦于高端装备制造业,为客户提供专业的技术解决方案,同时不断加强企业管理创新与科技创新,保持竞争优势,积极打造国产品牌、创造多方共赢、共享卓越成果。
北京京仪自动化装备技术有限公司-团队+办公环境介绍
北京京仪自动化装备技术有限公司位于北京亦庄经济技术开发区,公司总部占地面积约4000平米,配有万级无尘净化间和研发中心,通过了质量管理体系认证、环境管理体系认证、职业健康安全管理体系认证。
公司坚持走自主创新、稳步发展之路,拥有一支高学历、高素质人才团队,成员年轻而充满朝气,具有创新意识并勇于迎接挑战,愿为集成电路装备国产事业贡献一份力量。
企业愿景 发展战略
企业愿景——成为国内集成电路制造行业最具价值的设备和服务供应商。
业态定位——高端装备制造+生产性服务业
市场定位——集成电路装备+泛半导体领域
以运动控制为核心的自动化设备
以温度控制技术为核心的水冷机
以零排放为目标的尾气处理设备
以客户满意为目标的生产性服务
公司分布
研发总部:北京总部拥有4000平米研发基地和1000平米无尘净化间
生产基地:拥有上万平米生产基地以及相关研发配套中心
服务中心:办事处分布于上海、深圳、芜湖、大连,为客户提供7*24小时on site服务和2小时响应措施
海外办事处:日本、美国
总经理致辞
公司一直秉承“为员工提供机会,为客户带来利益,为股东创造价值,为社会承担责任”的企业价值观,以振兴民族产业为己任,聚焦于高端装备制造业,为客户提供专业的技术解决方案,同时不断加强企业管理创新与科技创新,保持竞争优势,使公司成为多方共赢、共享卓越成果的平台。与时俱进,着眼未来,致力于以全球化、国际化的管理思想提高国产品牌的核心竞争力,让“中国人自己的半导体附属设备”走向世界。
产品介绍
12英寸晶圆倒片机
—ALI-300 Wafer Sorter G2 (4LP)
全自动12英寸晶圆倒片机(ALI-300 Wafer Sorter G2 (4LP)),主要用于晶圆的自动传送、定位和排序。
ALI-300 Wafer Sorter G2 (4LP)整机采用模块化设计,整机符合SEMI 标准。
设备配有自主知识产权的单臂单叉机械手模块、预对准模块和ID Reader模块,三模块在水平方向上同步运动,可在晶圆传输的过程中实现对晶圆缺口的检测及ID的读取,提高了Sorter的传片效率。
设备同时配置高效FFU,采用全封闭结构,具有超洁净性能,其洁净度达Class1。
本设备配有独立的UPS,可降低意外断电对设备及晶圆造成损失的风险。
12英寸晶圆倒片机
—ALI-300 Wafer Sorter (2LP)
全自动12英寸晶圆倒片机(ALI-300 Wafer Sorter),由北京自动化技术研究院研制生产,主要用于晶圆的自动传送、定位和排序。
ALI-300 Wafer Sorter整机采用模块化设计,整机符合SEMI 标准。
设备配有自主知识产权的单臂单叉机械手模块、预对准模块和ID Reader模块,三模块在水平方向上同步运动,可在晶圆传输的过程中实现对晶圆缺口的检测及ID的读取,提高了Sorter的传片效率。
设备同时配置高效FFU,采用全封闭结构,具有超洁净性能,其洁净度达Class1。
本设备配有独立的UPS,可降低意外断电对设备及晶圆造成损失的风险。
Local scrubber
废气处理设备
Local scrubber广泛应用于处理工业生产中产业的废毒气体,主要由燃烧腔室、循环系统、安全检测系统和控制系统构成的一个自我平衡的处理装置,属于半导体生产过程中关键的尾气处理辅助设备。
ECOSYS local scrubber由ATMI公司成立于1984年,属于世界上第一台尾气处理装置。
Marathon 系列(燃烧-水洗式,适用于PFC/CVD/ETCH/DIFF)
CDO 系列(电热-水洗式,适用于CVD/ETCH/DIFF)
Vector系列(水洗式,适用于ETCH/DIFF)
Guardian系列: 燃烧式 GS4 (落地式或悬挂式), GS8 (仅落地式)
Chiller
半导体专用温控机
半导体专用温控机(Chiller)是对半导体制程进行温度控制的专用设备,包含热交换器、循环泵、压缩机和控制系统。它利用热交换原理将经过精确温控的循环液提供给用户设备的工艺腔,以维持工作单元稳定可靠的温控环境。能够控制循环介质在设定值±0.3℃范围内,以满足半导体设备或液晶面板生产设备对工艺温度的高精度控制要求。
优点:
加载情况下控温精度优于±0.3℃,可在-20℃~90℃任意工况切换,有良好的温度跟随性;
采用先进的节能技术,利用变频器实现压缩机和水泵的节能减耗;
设备具有故障、性能自诊断功能,并可实现远程诊断及维修;
先进的密封技术,减少循环液的泄漏及挥发;
符合SEMI标准和CE标准,可根据客户需求定制产品。
技术参数
1)产品参数:
Model |
Y-10030SH |
Y-8020SC |
Y-8020SCHV |
Y-8050SC |
Y-8050SCT | |
Temp. control |
Range |
+30℃~ +90℃ |
-20℃~ +90℃ |
-20℃~ +90℃ |
-30℃~ +90℃ |
-30℃~ +90℃ |
Model |
Y-8010DC |
Y-8020DC |
Y-8025DC |
Y-8035DC |
Y-8055DC | |
Temp. control |
Range |
Upper: -20℃~ +90℃ |
Upper: -20℃~ +90℃ |
Upper:+30℃~ +90℃ |
Upper:+30℃~ +90℃ |
Upper:+30℃~ +90℃ |
Model |
Y-3010SH |
B-320SH |
B-850TC | ||
Temp. control |
Range |
+30℃~+90℃ |
+25℃~+90℃ |
CH1: -30℃~ +90℃ | |
Accuracy (Idle) |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 | ||
Accuracy (Running) |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 | ||
Model |
PID / TM / Predictive Control / Adaptive control |
PID / TM / Predictive Control / Adaptive control |
PID / TM / Predictive Control / Adaptive control | ||
2 sensor calculate |
2 sensor calculate |
2 sensor calculate | |||
Heat medium |
PCW |
DI |
Fluorinert / Galden/DI | ||
Cooling unit |
Compressor Capacity |
_ |
_ |
CH1: 15HP*2 CH3:- | |
Cooling capacity |
100kW@+50℃ |
50kW@+25℃ |
CH1:25kW@-20℃ | ||
Utility water |
50L/min @+15~+25℃ |
50L/min @+15~+25℃ |
CH1:50L/min @+15~+25℃ | ||
Refrigerent |
_ |
_ |
R-404a (CFC-Free) | ||
Heater |
Capacity |
15kW |
4.5kW |
CH1:8kW | |
Pump |
Motor |
3.2kW Centrifugal pump |
3.7kW Canned pump |
4X2.8kW canned pump | |
Capacity |
Over 80L/min @ 0.4Mpa |
Over 50L/min @ 0.3Mpa |
Each CH Over 30L/min @ 0.6Mpa | ||
coolant side |
Coolant inlet |
Rc 1-1/4 |
Rc 1 |
Rc 3/4 | |
Coolant outlet |
Rc 1-1/4 |
Rc 1 |
Rc 3/4 | ||
Pcw side |
FCW inlet |
Rc 3/4 |
Rc 1 |
Rc 1 | |
FCW outlet |
Rc 3/4 |
Rc 1 |
Rc 1 | ||
Tank |
Capacity |
50L full |
50L full |
Each CH 50L full | |
Safety device |
Refrigenant pr. |
_ |
_ |
Yes | |
Pump flow |
Yes |
Yes |
Yes | ||
H/L Temp. |
Yes |
Yes |
Yes | ||
H/L Coolant level |
Yes |
Yes |
Yes | ||
Coolant over fill |
No |
No |
No | ||
Coolant leakage sensor |
No |
No |
No | ||
Power current leakage sensor |
Yes |
Yes |
Yes | ||
Bottom plate leakeage sensor |
No |
No |
No | ||
Alarm history |
Yes |
Yes |
Yes | ||
Interface Type |
RS485C/422C |
RS485C/422C |
RS485C/422C | ||
Analog DI/0 |
Analog DI/0 |
Analog DI/0 | |||
Stainless bottom plate |
Yes |
Yes |
Yes | ||
Power Consumption |
25~33A |
22~28A |
270~310A | ||
Power supply |
3-phase AC380±10%V, 50/60Hz |
3-phase AC208±10%V, 50/60Hz |
3-phase AC208±10%V, 50/60Hz | ||
SEMI-S2 Certificated |
Yes |
Yes |
Yes | ||
SEMI47 correspondence |
>2s @votage down 80% |
>2s @votage down 80% |
>2s @votage down 80% | ||
Certificated by ISO9000 and 14000 |
Yes |
Yes |
Yes | ||
Dimensions |
W:560 mm x D:1190 mm x H:990mm |
W:560 mm x D:1325 mm x H:1000mm |
W:1810 mm x D1170 mm x H:1860mm | ||
Weight |
200Kg |
270Kg |
1550Kg |
2)使用环境:
供电电源:三相AC208V±10%;三相AC380V±10%(部分型号);50Hz/60Hz;
使用设备:半导体生产系统的工艺腔或者其他密封回路;液晶面板生产系统的工艺腔或者其他密封回路(部分型号)。
温度范围:(10~40)℃;
环境相对湿度:20%~80%RH;
3)触摸屏控制
设备配备有触摸屏,操作人员可以通过触摸屏来控制设备的运行。为操作人员提供便捷。
北京京仪自动化装备技术有限公司
人力资源部
联系方式:010-58917313/16
电子邮件:hrd@baecltd.com.cn
公司主页:www.baecltd.com.cn
1.按规定时间、地点持本人学生证和毕业生推荐表进入会场。
2.听从会场工作人员的指导。
3.注意保持会场的环境卫生。
4.注意自己的言行举止,展示我校毕业生的良好形象。
5.不得将学生证借给他人使用,一经发现严肃处理。
招生与就业工作处